Descrição do equipamento:
· Introdução ao equipamento:
O equipamento de filme fino da magnetron Sputtering está usando a tecnologia de núcleo maduro da empresa: limpeza de alta energia de ionbeam + fonte de pulverização de magnetron (pulverização de magnetron), o equipamento adota controle automático completo, otimização integrada modular, alta potência do equipamento, desempenho estável, operação simples e manutenção fácil. Para atender a diferentes necessidades de revestimento, a câmara pode ser projetada e configurada com uma variedade de alvos, como alvos circulares planares, alvos de tira e alvos cilíndricos, e pode obter filmes compostos de várias camadas com alta densidade e bom desempenho uniforme, incluindo vários metais, componentes eletrônicos, materiais ferromagnéticos. O equipamento de filme fino da Sputtering Sputtern é adequado para o desenvolvimento de revestimento e serviços de revestimento em lote.
·Vantagens de equipamentos:
Express Magnetron Sputtering Film Film Equipment possui uma tecnologia de núcleo exclusiva, campo magnético especialmente projetado e caminho de processo de processo, melhorando efetivamente a taxa de utilização do alvo e a estabilidade do processo a longo prazo;
Expresse a interface universal modular, diretamente compatível com diferentes formas de alvos de cátodo, permitindo o pulso de CC, se, modo de trabalho de RF; Forte compatibilidade;
Expresse o sistema operacional de processo inteligente automático auto-designado fornece recursos abrangentes e convenientes de fórmula de fórmula de processo, equipados com sistema de monitoramento de parâmetros de processo em tempo real, permitindo o controle remoto on-line.
Campo de aplicação:
Express Magnetron Sputtering Film Film Equipment pode ser banhado Cu, Au, Cr, Ni, Ta, Tin, Tic, Ticn, Tialn, CRN e outros óxidos de metal, não metal e cerâmica de todos os tipos de filme e filme composto;
O Express pode ser usado em exibição de cristal líquido, desgaste dura, células solares, proteção de material e anti-corrosão, vidro de construção, camada de filme óptico e decorativo, armazenamento de informações magneto-ópticas, materiais ferromagnéticos e outros campos.
Tipo de revestimento:
|
Tipo de revestimento |
Espessura do filme (μm) |
Desempenho acessível |
Aplicação principal |
|
Ti/ni/cr/cu/ag, etc. |
0.5-10 |
Melhore a soldabilidade, aprimoreletromagnetic shielding capacidade de aceitação de coragem de cor, etc. |
Comunicações 5G Instituto de Pesquisa. |
Tag: Magnetron Sputtering Film Film Equipment, China Magnetron Sputtering Filma, Equipamento de medição de uniformidade de filme fino, Equipamento de filme fino multicamada, sistema de revestimento de filme fino, Equipamento de pulverização de filme fino, Equipamento de processamento de filme fino, Equipamento de filme fino isolante
