Visão geral do produto
Equipamento industrial de revestimento iônico multi{0}}arco projetado para aplicação de revestimentos duros, filmes funcionais e acabamentos PVD decorativos em componentes de precisão. Utilizando uma descarga de arco de vácuo de alta-corrente e baixa{3}}tensão, o sistema vaporiza diretamente materiais alvo sólidos (Ti, Cr, Al, Zr). Quando combinado com gases reativos (N2, O2, C2H2), sintetiza nitretos, carbonetos e óxidos de metais de transição densos diretamente em substratos metálicos.
Construída com base em uma arquitetura modular de câmara de vácuo, esta solução PVD pronta para uso acomoda diversas escalas de produção,-desde processamento em lote de pesquisa e desenvolvimento até fabricação em linha automatizada e-de alto rendimento. O sistema é otimizado para alta utilização alvo e baixo custo total de propriedade (TCO) em ambientes industriais contínuos 24 horas por dia, 7 dias por semana.
-
![Equipamento de deposição a vácuo multi{0}}arco]()
Equipamento de deposição a vácuo multi{0}}arcoEste sistema de deposição a vácuo multi{0}}arco utiliza tecnologia de revestimento iônico de arco catódico para depositar revestimentos duros densos e de alta{1}}adesão em substratos metálicos...Ver mais -
![Sistema de deposição de íons com vários{0}arcos]()
Sistema de deposição de íons com vários{0}arcosThe Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >80% de ionização do material...Ver mais -
![Equipamento de filme fino PVD multi{0}}arco]()
Equipamento de filme fino PVD multi{0}}arcoO sistema industrial multi{0}}arco PVD utiliza deposição física de vapor por arco catódico de alta-ionização para depositar revestimentos duros densos e estequiométricos (como TiN, TiAlN, CrN e...Ver mais -
![Equipamento de deposição de íons multi{0}}arco]()
Equipamento de deposição de íons multi{0}}arcoO sistema industrial de deposição de íons com vários{0}arcos gera filmes finos densos e de alta{1}}adesão por meio da evaporação de arco catódico de alta-corrente e baixa{3}}tensão. Os materiais...Ver mais -
![Sistema de filme fino de íons multi{0}}arco]()
Sistema de filme fino de íons multi{0}}arcoO sistema industrial de filme fino de íons multi{0}arco utiliza evaporação de arco catódico para depositar revestimentos cerâmicos e metálicos densos e de alta{1}}adesão em substratos de metal e...Ver mais -
![Equipamento de filme fino de íons multi{0}}arco]()
Equipamento de filme fino de íons multi{0}}arcoEste sistema de revestimento iônico multi{0}}arco utiliza evaporação de arco catódico para depositar revestimentos duros densos e de alta{1}}adesão e filmes finos funcionais. Ao lançar um arco de...Ver mais
Especificações Técnicas
|
Parâmetro |
Faixa de especificações |
Unidade / Nota |
|
Dimensões da Câmara |
Ф600 x 600 a Ф1500 x 1800 |
mm (configurações verticais ou horizontais personalizadas) |
|
Pressão final de vácuo |
<= 5.0 x 10^-4 |
Pa (bomba seca + conjunto Turbo-molecular / difusão de óleo) |
|
Fontes de arco catódico |
4 a 16 unidades |
Fontes de arco eletromagnético direcionado ou filtrado (FCA) |
|
Poder de polarização do substrato |
0 a -1000 |
V (capacidades avançadas de polarização DC pulsada / MF) |
|
Temperatura de aquecimento |
Temperatura ambiente até 600 |
C (aquecedores radiantes controlados por PID) |
|
Uniformidade de Deposição |
<= +/- 5% |
Medido via XRF em toda a zona de trabalho efetiva |
|
Sistema de controle |
CLP + PC Industrial |
Execução automatizada de receitas, registro de dados SCADA |
|
Segurança e Conformidade |
CE, ISO 9001 |
Gabinetes elétricos{0}compatíveis com UL disponíveis mediante solicitação |
A sequência física de deposição de vapor opera em um fluxo de trabalho automatizado de circuito-estrito e fechado para garantir a repetibilidade de lote-a{2}}lote:
Evacuação e desgaseificação:
A câmara de vácuo é bombeada até uma pressão basal de<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.
Gravura de Plasma (Bombardeio):
O gás argônio é introduzido. Uma alta polarização negativa é aplicada ao suporte do substrato, gerando íons Ar que bombardeiam a superfície para eliminar óxidos nativos e micro{1}}contaminantes.
Evaporação e Ionização do Arco:
A corrente do arco CC atinge o cátodo metálico sólido. O ponto catódico local atinge densidade de energia extrema, vaporizando instantaneamente o material alvo em um fluxo de plasma de alta-densidade (taxa de ionização > 80%).
Deposição Reativa:
Gases reativos são injetados no fluxo de plasma em pressões parciais controladas com precisão por meio de Controladores de Fluxo de Massa (MFCs), formando filmes compostos estequiométricos em substratos rotativos.
Resfriamento e ventilação:
O resfriamento controlado ocorre sob proteção de gás inerte antes da ventilação da câmara, evitando a oxidação de peças recém-revestidas.
Materiais de filme e propriedades de revestimento
O sistema oferece suporte a arranjos de cátodos multi{0}metálicos, permitindo arquiteturas de filme monocamada, multicamada, nano-composto e gradiente:
TiN (nitreto de titânio):
Revestimento dourado padrão; dureza 2.200–2.400 HV; coeficiente de atrito 0,4. Uso principal: ferramentas de corte em geral e peças de desgaste mecânico.
TiAlN (nitreto de alumínio e titânio):
Resistência-à oxidação em altas temperaturas de até 850 C; dureza 3000–3300 HV. Uso principal: pastilhas de usinagem a seco em alta-velocidade e válvulas de motor.
CrN/CrAlN (nitreto de cromo):
Excelente resistência à corrosão e baixo estresse interno; propriedades anti-convulsivantes contra metais-não ferrosos. Uso principal: moldes de conformação, anéis de pistão e componentes de máquinas têxteis.
ZrN/TiCN:
Baixa rugosidade superficial (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.
Aplicativos
Ferramentas de corte de precisão:
Fresas de topo, brocas, fresas e pastilhas intercambiáveis que exigem maior vida útil da ferramenta sob altas cargas térmicas.
01
Trem de força automotivo:
Pinos de pistão, tuchos, componentes de injeção de combustível e superfícies de engrenagens que exigem fricção limite reduzida e resistência ao desgaste.
02
Moldes e matrizes:
Moldes de injeção de plástico, matrizes de estampagem e inserções de{0}fundição sob pressão que exigem resistência ao desgaste adesivo e à fadiga térmica.
03
Componentes Aeroespaciais:
Pás de turbina e fixadores de titânio operando em ambientes agressivos, corrosivos e de alto{0}}esforço.
04
Personalização e configuração do sistema
Os itens de catálogo padrão raramente se ajustam perfeitamente aos layouts de fábrica dedicados. As configurações dos equipamentos são personalizadas com base na geometria específica dos componentes, nas metas de tempo de ciclo e nas restrições das instalações:
Geometria da Câmara:
Câmaras octogonais ou cilíndricas de aço inoxidável (SUS304/SUS316L) com camisas de resfriamento de água-com paredes duplas-.
Layout de origem:
Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).
Fixação de substrato:
Rotação planetária (3-eixos) ou mecanismos de rotação única acionados por passagens de fluido magnético para garantir cobertura uniforme de revestimento em geometrias 3D complexas.
Opções de pilha de bombeamento:
Sopradores Roots, bombas de palhetas rotativas, bombas criogênicas ou bombas turbomoleculares configuradas para atender a tempos rígidos de ciclo-de bombeamento.
Controle de qualidade e protocolos de teste
Cada máquina passa por rigorosos testes de aceitação de fábrica (FAT) antes do envio, documentados para análise do comprador:
01
Teste de integridade de vácuo:
Detecção de vazamento de hélio utilizando espectrometria de massa (taxa de vazamento<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).
02
Segurança elétrica e queima-in:
Funcionamento a seco contínuo de 72 horas de fontes de alimentação, intertravamentos de resfriamento de água e lógica de automação PLC.
03
Verificação de revestimento (laboratório-interno):
Amostras testadas por meio de teste Calo-(espessura do filme), indentação Rockwell (resistência de adesão) e nanoindentação (dureza).
Instalação, comissionamento e suporte técnico
Diretrizes de preparação do local:
Desenhos detalhados de layout de utilidades fornecidos para fluxo/pressão de água de resfriamento, ar comprimido, ventilação de exaustão e requisitos de barramento elétrico.
SAT e Comissionamento:
Instalação-no local (teste de aceitação no local), calibração de vácuo e entrega de receita de linha de base executada por engenheiros de processo PVD seniores.
Treinamento de Processo:
Treinamento prático-do operador, abrangendo programações de substituição de cátodo, manutenção preventiva de vácuo, solução de problemas e otimização básica de receitas.
Suporte de peças de reposição:
Componentes críticos de desgaste (cátodos, blindagens, isoladores e vedações) armazenados para envio global em 48 horas.
Perguntas frequentes
Somos-conhecidos como um dos principais fabricantes e fornecedores de equipamentos de filme fino de íons multi{1}}arco na China. Se você for comprar equipamento de filme fino de íon multi{3}}arco personalizado feito na China, bem-vindo para obter a lista de preços de nossa fábrica. Para consulta de preços, contacte-nos.
