Visão geral do produto
O sistema industrial de evaporação por arco catódico é uma plataforma de deposição física de vapor (PVD) de nível de produção projetada para depositar revestimentos duros-resistentes ao desgaste, à corrosão-e de baixo-fricção. Ao empregar arcos elétricos de baixa-tensão e alta{6}}corrente, os alvos catódicos sólidos são vaporizados e ionizados instantaneamente no ponto catódico, gerando plasma metálico altamente ionizado.
Projetado e fabricado de acordo com os padrões de gerenciamento de qualidade ISO 9001 e as diretivas de conformidade da CE, este sistema é configurado para operações de revestimento de alto-produto nos setores de fabricação de ferramentas, componentes automotivos e hardware industrial. As configurações padrão integram layouts multi{3}}cátodos com direção de campo magnético-independente, fontes de alimentação de polarização pulsada/CC programáveis e controle de vácuo automatizado para manter a estequiometria do filme consistente e microestruturas densas.
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Sistema de filme fino de evaporação de arcoO sistema industrial de filme fino de evaporação por arco catódico foi projetado para a deposição de alta-taxa de revestimentos de compostos metálicos, de liga e cerâmicos densos e fortemente...Ver mais -
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Equipamento PVD de evaporação de arcoO sistema PVD industrial de evaporação por arco catódico utiliza arcos elétricos de baixa-tensão e alta-corrente para vaporizar alvos catódicos sólidos em um ambiente de vácuo. Este mecanismo...Ver mais -
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Sistema de filme fino de arco a vácuoO sistema de filme fino de arco a vácuo industrial utiliza evaporação de arco catódico para depositar filmes finos metálicos, de liga e cerâmicos densos e altamente aderentes. Um arco de...Ver mais -
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Equipamento de filme fino de arco catódicoSistema de deposição física de vapor (PVD) que utiliza arcos elétricos localizados de baixa-tensão e alta{1}}corrente para vaporizar alvos catódicos sólidos em plasma totalmente ionizado. A alta...Ver mais -
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Equipamento de deposição por evaporação de arcoPlataforma industrial de deposição física de vapor (PVD) projetada para síntese de alta{{0}taxa de revestimentos rígidos densos,-resistentes ao desgaste e funcionais. Manter uma descarga de arco...Ver mais -
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Equipamento de filme fino para evaporação de arcoEste sistema de evaporação de arco catódico vaporiza alvos catódicos sólidos por meio de um arco elétrico de baixa-tensão e alta-corrente para gerar plasma metálico totalmente ionizado. Comparado...Ver mais
Especificações Técnicas
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Parâmetro |
Faixa de especificações/configuração padrão |
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Dimensões da Câmara |
Diâmetro: 800 mm - 1800 mm (layouts verticais/horizontais personalizáveis) |
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Material da Câmara |
Aço inoxidável-de parede dupla SUS304 com canais internos de-resfriamento de água |
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Pressão final de vácuo |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups) |
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Configuração do cátodo |
4 a 12 fontes de arco retangular/circular com direção eletromagnética |
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Fonte de alimentação de arco |
300A - 500Uma corrente constante ajustável, ondulação<= 2% |
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Poder de polarização do substrato |
0 a -1000 V ajustável, frequência de polarização pulsada de 10 kHz - 100 kHz |
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Sistema de aquecimento |
Conjunto de aquecedores radiantes, temperatura máxima de 600 graus +/- 5 graus de uniformidade |
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Rotação da peça |
Rotação planetária ou de eixo duplo-acionada por passagem de fluido magnético |
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Sistema de controle |
PLC + PC industrial, controle de sequência automatizada-orientada por receita |
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Requisitos de utilidade |
Água de resfriamento: 0,25-0,35 MPa, 20-25 graus; Potência: 380V/480V, trifásico, 50/60 Hz |
Processo de Evaporação de Arco
O ciclo de deposição opera sob rigoroso controle processual para garantir a integridade do filme e a adesão da interface:
Evacuação e desgaseificação:
A câmara de vácuo é bombeada até a pressão base. Os substratos são aquecidos sob vácuo para eliminar voláteis da superfície e umidade residual.
01
Gravura Plasmática (Limpeza):
O bombardeio de íons metálicos (usando fontes alvo de titânio ou cromo) limpa a superfície do substrato em nível atômico, removendo óxidos nativos e ativando a interface.
02
Deposição Reativa:
Gases reativos (N2, CH4, O2) são injetados na câmara através de controladores de fluxo de massa (MFCs) para reagir com o fluxo de plasma metálico (por exemplo, Ti, Cr, AlTi), formando filmes compostos como TiN, TiAlN ou CrN.
03
Resfriamento e ventilação:
O resfriamento pós-{0}}deposição ocorre sob uma atmosfera protetora de gás inerte antes da ventilação da câmara e da recuperação da peça.
04
Alvos catódicos suportados
Titânio (Ti) e Titânio Alumínio (TiAl):Materiais básicos para revestimentos TiN padrão e TiAlN de alta-oxidação-resistência (resistindo à oxidação de até 900 graus).
Cromo (Cr):Usado para acabamentos decorativos e camadas-de CrN/CrC resistentes à corrosão.
Zircônio (Zr) e Titânio Silício (TiSi):Aplicado para filmes nanocompósitos decorativos especializados e resistentes-ao desgaste extremo.
Materiais de substrato compatíveis
Aço-de alta velocidade (HSS):Brocas helicoidais, fresas de topo, fresas e broches.
Carbonetos Cimentados (WC-Co):Insertos intercambiáveis, alargadores e matrizes de conformação.
Aços e ligas de engenharia:Componentes de válvulas automotivas, engrenagens, ferragens sanitárias de aço inoxidável e implantes médicos de titânio.
Aplicações e impacto no desempenho
Ferramentas de corte de metal:
Deposição de revestimentos de TiAlN e AlCrN em pastilhas de metal duro e fresas de topo, prolongando a vida útil da ferramenta em 200% a 300% e permitindo usinagem a seco em alta-velocidade.
Matrizes de formação e estampagem:
Aplicação de revestimentos densos e de baixo{0}}fricção para reduzir o desgaste do adesivo, escoriações e aderência da peça durante a estampagem profunda, reduzindo o tempo de inatividade em até 40%.
Trem de força automotivo:
Tratamento de anéis de pistão, pinos de injeção de combustível e tuchos para minimizar o coeficiente de atrito limite até < 0,15 e evitar desgaste por abrasão.
Ferragens industriais e torneira sanitária:
Camadas decorativas duras de PVD (ouro TiN, ouro rosa, zircônio preto) passando por um teste de névoa salina neutra de no mínimo 500 horas (ASTM B117).
Personalização e configuração de processos
Os layouts dos equipamentos são dimensionados de acordo com o volume de produção, a geometria das peças e a área ocupada pela fábrica:
Geometria da Câmara:
Estruturas de carregamento vertical para ferramentas pesadas; configurações de lote horizontal para carregamento de equipamentos de alta-capacidade.
Integração de Fonte:
Configurações híbridas que combinam fontes de arco catódico com cátodos de magnetron sputtering (RMS) não balanceados para depositar arquiteturas multicamadas suaves e{0}}livres de gotículas.
Sistemas de Filtragem:
Filtros de macropartículas magnéticas opcionais (filtros de arco direcionado) instalados em canais catódicos para eliminar macro-gotículas para revestimentos funcionais de precisão óptica ou ultra{1}}suave.
Interface de automação:
Integração-pronta para braços de carregamento robóticos e preparação de lotes de veículos guiados automaticamente (AGV).
Integridade Estrutural:Os corpos das câmaras são submetidos a testes de vazamento no espectrômetro de massa de hélio com um limite de sensibilidade de<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.
Segurança Elétrica e Conformidade:Construído estritamente de acordo com as diretrizes de segurança elétrica CE e IEC, apresentando testes completos de isolamento e intertravamentos de segurança de emergência.
Execução-funcional (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / recuo Rockwell HF1-HF2) são verificados em cupons de teste padrão antes do envio.
Instalação e suporte técnico
Pacote de preparação do local:
Desenhos abrangentes de layout de serviços públicos detalhando taxas de fluxo de água de resfriamento, ventilação de exaustão, capacidade de carga do piso e especificações de queda elétrica fornecidos quatro semanas após o-contrato.
Comissionamento-no local:
Engenheiros de processo-certificados pela fábrica cuidam do alinhamento mecânico, detecção de vazamento de vácuo, integração elétrica e configuração inicial da receita básica nas instalações do cliente.
Transferência de receita de processo:
A entrega inclui receitas de linha de base padrão (TiN, TiAlN, CrN) e treinamento operacional para equipes internas de manutenção e engenharia.
Suporte de diagnóstico remoto:
Sistemas equipados com gateways de roteador industrial seguros para solução de problemas remotos de parâmetros e diagnóstico lógico PLC.
Perguntas frequentes
Somos-conhecidos como um dos principais fabricantes e fornecedores de equipamentos de filme fino para evaporação por arco na China. Se você vai comprar equipamento de filme fino de evaporação de arco personalizado feito na China, bem-vindo para obter a lista de preços de nossa fábrica. Para consulta de preços, contacte-nos.
