Equipamento de filme fino de arco catódico

Sistema de deposição física de vapor (PVD) que utiliza arcos elétricos localizados de baixa-tensão e alta{1}}corrente para vaporizar alvos catódicos sólidos em plasma totalmente ionizado. A alta taxa de ionização (40%-80%) gera uma ligação densa em nível-atômico e alta tensão de compressão, permitindo deposição de alta-taxa de revestimentos decorativos e resistentes ao desgaste-em aço rápido (HSS), ferramentas de corte de metal duro, componentes automotivos e dispositivos médicos.

Alta eficiência de ionização:A taxa de ionização plasmática chega a 40%-80%, garantindo adesão superior do filme-ao substrato.

Cátodos Modulares:A montagem-de destino de mudança rápida minimiza o tempo de inatividade para manutenção; compatível com cátodos cilíndricos planos e rotativos.

Controle de gás-de circuito fechado:Os controladores de fluxo de massa MKS mantêm pressões parciais de gases reativos precisas para filmes compostos (TiAlN, TiCN).

Rotação planetária multi{0}}eixo:Unidades de rotação e revolução personalizadas garantem uniformidade de espessura (±5%) em geometrias 3D complexas.

Operação em modo duplo-:Compatível com evaporação de arco CC e integração de pulverização catódica pulsada para arquiteturas multi-camadas.

Bombas de desbaste:Combinação de bombas de palhetas rotativas e raízes para bombeamento rápido-da atmosfera até 10 Pa.

Bomba de alto vácuo:Bomba turbomolecular levitada magneticamente (1600–3200 L/s) garantindo pressão de base-livre de hidrocarbonetos.

Válvulas e Medição:Válvulas pneumáticas de alto-vácuo com Pirani e intertravamentos de ionização de cátodo frio para evitar refluxo de óleo.

[Guia visual para produtor web]:Insira uma foto esquemática ou clara do layout do encanamento de vácuo, destacando o posicionamento da bomba turbomolecular e da válvula gaveta pneumática.

Alvos catódicos padrão (pureza maior ou igual a 99,95%)
Metais de Transição:Ti, Cr, Zr, Al, TiAl (proporções atômicas 50/50, 33/67), CrAl, W, Nb, Si.

Ligas e Compostos:Grafite (para camadas intermediárias DLC), aço inoxidável.

Compatibilidade e pré-tratamento do substrato-
Materiais:WC-Ferramentas de co-corte, fresas, broches, matrizes de estampagem, moldes de injeção, ligas de titânio (Grau 5) e aço inoxidável.

Pré-tratamento:Desengraxamento com solvente ultrassônico e limpeza por bombardeio iônico in-situ (gravação com plasma Ar⁺) dentro da câmara antes da deposição.

Ferramentas de corte e conformação:Revestimentos de TiN, TiAlN e AlCrN aumentam a dureza da superfície para 3.000–3.500 HV, suprimindo crateras térmicas e desgaste abrasivo.

Componentes automotivos:Revestimentos-redutores de atrito para anéis de pistão, pinos de injeção de combustível e componentes de engrenagens.

Implantes médicos:Revestimentos duros biocompatíveis de TiN e ZrN em substituições de articulações ortopédicas e parafusos cirúrgicos.

Ferragens decorativas:Produção de espectro de cores (latão dourado, ouro rosa, preto bronze, cinza titânio) por meio de ajuste de gás reativo.

Geometria da Câmara:Configurações de carregamento vertical (montado-no poço ou no chão-) ou carregamento frontal-horizontal.

Configuração de origem:Fontes de duto magnético de arco catódico filtrado (FAC) para eliminar macropartículas para eletrônica óptica ou de precisão.

Automação:Braços de carregamento robóticos, integração de acoplamento AGV e protocolos de registro de dados MES.

Detecção de vazamento:Teste de espectrômetro de massa de hélio em todas as câmaras e cordões de solda (menor ou igual a 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s).

Segurança Elétrica:Resistência de isolamento-de alta tensão, continuidade de aterramento e verificação funcional de intertravamento do PLC.

Execução de teste (FAT):Teste de funcionamento a seco contínuo de 72-horas-mais teste de deposição de revestimento padrão avaliado por meio de Calo-test (espessura) e testador de arranhões (aderência).

Pacote de documentação:Esquemas elétricos, diagramas P&ID, códigos-fonte de PLC, certificados de materiais e relatórios FAT.

Preparação do local:Desenhos detalhados de layout, métricas de água de resfriamento e especificações de distribuição de energia fornecidas 4 semanas antes do envio.

Comissionamento:Montagem mecânica-no local, calibração de vácuo e entrega de receitas por engenheiros de processo seniores.

Treinamento:Instruções{0}}práticas sobre manutenção de hardware, solução de problemas de vácuo e protocolos de segurança.

Apoiar:Integração remota de software de diagnóstico para solução de problemas de PLC{0}}em tempo real, apoiada por inventário regional de peças de reposição.