Equipamento-de evaporação a vácuo assistida por íons

O sistema de evaporação a vácuo-assistida por íons integra fontes de evaporação térmica de alto-vácuo ou de feixe de elétrons-com uma fonte de íons tipo Kaufman-ou End{4}}Hall. Ao bombardear o filme em crescimento com gás ionizado (Ar ou O2) durante a deposição física de vapor (PVD), o sistema transfere energia cinética para os adátomos, suprimindo a microestrutura colunar e evitando a absorção de umidade em filmes finos ópticos e dielétricos.

Desenvolvido para integração em salas limpas e produção contínua em vários{0}}turnos, o sistema abrange desde áreas de pesquisa e desenvolvimento (câmaras de 300 mm) até linhas industriais de alto-produto (porta dupla-de 900 mm e configurações de rotação planetária).

Perto da-densidade aparente:A elevada mobilidade da superfície do adatom elimina a porosidade visível do filme e maximiza a dureza mecânica.

Ajuste de estresse intrínseco:A energia do feixe de íons ajustável neutraliza o estresse mecânico, evitando a delaminação em pilhas dielétricas espessas.

Processamento de baixo orçamento-térmico-:A densificação-impulsionada permite revestimento de alto-desempenho em substratos de polímero-sensíveis à temperatura sem distorção térmica.

Automação de receitas:Intertravamentos de vácuo-controlados por PLC e sequenciamento de-bombeamento gerenciados por meio de um painel de toque industrial-IHM com registro de dados.

Estágio de desbaste:Bomba mecânica de palhetas rotativas de duplo-estágio acoplada a um soprador de raízes (velocidade de 150 L/s) para cruzamento rápido.

Estágio de alto vácuo:Bomba turbomolecular levitada magneticamente (1.600 L/s) apoiada por uma bomba scroll seca-isenta de óleo para eliminar o refluxo de hidrocarbonetos.

Opção criogênica:Armadilha fria de nitrogênio líquido e integração de bomba criogênica para baixas pressões parciais de-vapor de água.

Medição de Vácuo:Medidores de-calibração cruzada Pirani e Cold Cathode para feedback-em tempo real da atmosfera até 10^-7 Pa.

Materiais de Evaporação
Óxidos:SiO2, TiO2, Ta2O5, Nb2O5, Al2O3

Fluoretos:MgF2, LaF3

Metais:Al, Ag, Au, Ti, Cr

Compatibilidade de substrato
Substratos Ópticos:Janelas de sílica fundida, N-BK7, silício, germânio e seleneto de zinco.

Bolachas semicondutoras:Wafers de silício e semicondutores compostos de 100 mm a 300 mm.

Polímeros:Filmes PET, PI (poliimida) e PMMA usando parâmetros IAD de baixa-temperatura.

Óptica de precisão:Revestimentos anti{0}}reflexos (AR), espelhos laser e filtros passa-banda estreitos que exigem resistência à umidade.

Microeletrônica:Eletrodos de porta metálica, camadas de adesão e barreiras de passivação em embalagens de semicondutores.

Optoeletrônica:Contatos de óxido condutor transparente (TCO) e camadas de encapsulamento de barreira de umidade-OLED.

Geometria da Câmara:Construções retangulares ou cilíndricas adaptadas às restrições das paredes da sala limpa.

Integração-de múltiplas fontes:Configurações de co-evaporação acomodando até três canhões-de feixe E e quatro barcos térmicos.

Portas de metrologia-in situ:Portas de integração de flange para elipsômetros espectroscópicos ou sistemas de monitoramento óptico.

Nível de automação:Construções de pesquisa semi{0}}automáticas ou manuseio de wafers de cassete-para{2}}totalmente automatizado.

Detecção de vazamento:Teste de espectrômetro de massa de hélio em cada câmara com um limite de rejeição estrito de < 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.

Verificação de limpeza:A varredura do analisador de gases residuais (RGA) foi realizada antes do{0}}envio para verificar zero hidrocarbonetos orgânicos.

Queima do sistema-:Teste contínuo de simulação de 72- horas de acionamentos mecânicos, coletores de resfriamento e intertravamentos elétricos.

Documentação:Certificados de teste de fábrica de materiais (MTRs), esquemas elétricos e relatórios de teste de aceitação de fábrica (FAT).

Preparação do local:Detailed facility guide covering floor loading, chilled water (>= 5 m^3/h), ar limpo e seco (CDA) e exaustão.

Comissionamento:Implantação de serviço de campo para nivelamento mecânico, conexão de serviços públicos, calibração de vácuo e aprovação de receitas-.

Treinamento do Operador:Programa no local de 5-dias que abrange operação, manutenção preventiva, solução de problemas e intertravamentos de segurança.

Peças de reposição:Itens de desgaste crítico (filamentos, cristais QCM, vedações, rolamentos turbomoleculares) estocados regionalmente.